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Issue Date | Title | Author(s) |
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1990-11 | 순철박막의 증착속도 , 미세구조 및 자성에 미치는 스퍼터링조건의 영향 | 한석희; 김희중; 강일구; 최정옥; 이정중 |
1990-11 | 스파터링 조건이 Co-Hf-Pd 박막의 특성에 미치는 영향 | 한석희; 김희중; 노태환; 강일구; 이정중 |
1989-01 | 텅스텐의 저압화학증착 (LPCVD) 시 기체유량이 증착층의 선택성과 면저항에 미치는 영향 . | 금동화; 류창섭; 이정중; 주승기 |
1992-01 | 텅스텐의 화학증착시 압력증가가 증착에 미치는 영향 .. | 금동화; 윤호철; 이정중 |