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Issue Date | Title | Author(s) |
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- | A study on the particle deposition toward a rotating wafer surface. | Bae Gwi-Nam; 안강호 |
- | Airflow velocity effect on particle deposition toward a horizontal wafer surface. | Bae Gwi-Nam; Chun-Sik Lee; NO HEE CHEON |
1995-01 | 수직 웨이퍼상의 입자 침착속도의 측정 | 배귀남; 이춘식; 박승오; 안강호 |
1994-01 | 열영동력이 수평 웨이퍼상의 입자침착에 미치는 영향 | 배귀남; 박승오; 이춘식; 안이기 |