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Issue Date | Title | Author(s) |
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1997-08-08 | CBr4개스를 이용한 반도체 패턴 측면의 에피성장율 조절방법 | 민석기; 김성일; 김무성; 한국과학기술연구원 |
1997-08-26 | 화학증착장치용 히터 | 민석기; 김용; 김성일; 김무성; 한국과학기술연구원 |
1998-11-21 | CBr4개스를 이용한 반도체 패턴 측면의 에피성장율 조절방법 | 민석기; 김성일; 김무성; 한국과학기술연구원 |
1997-07-15 | 화학증착장치용 히터 | 민석기; 김용; 김성일; 김무성; 한국과학기술연구원 |
1999-02-02 | CBr4개스를 이용한 반도체 패턴 측면의 에피성장율 조절방법 | 민석기; 김성일; 김무성; 한국과학기술연구원 |