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Issue Date | Title | Author(s) |
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1995-11-08 | 디렉트 모니터링 전기로를 이용한 수평대역 용융 단결정 성장장치 | 민석기; 한철원; 박승철; 박용주; 한국과학기술연구원 |
1999-06-16 | 고효율 광전소자용 반구형 구조의 제조방법 | 김성일; 박영균; 민석기; 김은규; 김용; 한국과학기술연구원 |
1998-03-20 | 주기율표III-V족 화합물 반도체의 건식 에칭방법 | 민석기; 김은규; 한국과학기술연구원 |
1997-08-08 | CBr4개스를 이용한 반도체 패턴 측면의 에피성장율 조절방법 | 민석기; 김성일; 김무성; 한국과학기술연구원 |
1995-01-20 | 플라즈마 화학중착법에 의한 텅스텐 박막 증착방법 | 김용태; 민석기; 한국과학기술연구원 |
1997-08-26 | 화학증착장치용 히터 | 민석기; 김용; 김성일; 김무성; 한국과학기술연구원 |
1999-05-18 | 양자세선 레이저 다이오드 제작방법 | 민석기; 김태근; 김은규; 한국과학기술연구원 |
1995-06-19 | 실리콘기판상에 성장된GaAs에피택셜층의 유기금속화학 증착법에 의한 델타-도핑형성 방법 | 민석기; 김무성; 김용; 한국과학기술연구원 |
1999-06-16 | 고밀도 양자점 어레이 형성방법 | 김성일; 박영균; 민석기; 김은규; 김춘근; 김용; 한국과학기술연구원 |
1991-12-10 | 디렉트 모니터링 전기로를 이용한 수평브리지만 단결정 성장장치 | 민석기; 한철원; 박승철; 한국과학기술연구원 |