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Issue Date | Title | Author(s) |
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- | Nanostructures of SiNx and Si formed by exposure of ionized gas | 정민철; 이태경; Park, Young Ju; 고창훈; 전승호; 함철영; 한문섭; 박경완 |
2004-11-09 | 실리콘 나노결정립 형성방법 | 박용주; 정민철; 이태경; 한문섭 |
2007-11 | 이온화 N₂가스 입사를 이용한 SiNx 나노구조 내부의 Si 나노결정 형성 | 박용섭; 박용주; 신현준; 변준석; 윤재진; 정민철 |