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Browsing bySubjectCu metallization

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Issue DateTitleAuthor(s)
-Characteristics of amorphous Ta-Si-N thin film for Cu metallization김동준; 정순필; Kim Yong Tae; Min Suk-Ki; 박종완
1997-11-15Nanostructured Ta-Si-N diffusion barriers for Cu metallizationKim, DJ; Kim, YT; Park, JW
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