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Issue DateTitleAuthor(s)
1998-05유기금속 화학증착법을 이용한 패터닝된 TiN/BPSG 기판에서의 선택적 구리 증착김근국; 김영석; 곽성관; 김은규; 민석기; 박만장
2001-01-11질소플라즈마를　이용한　선택적　금속 박막　증착방법　및　그를　이용한　다층금속　연결배선　방법민석기; 곽성관; 김영석; 김은규
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