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Browsing byAuthor김옥경

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1999-02Internal antenna 를 이용한 inductively coupled plasma 내에서 발생된 이온의 존재비율 측정조정희; HAN SEUNG HEE; LEE YEON HEE; 김영우; LIM HYUN EUI; 김곤호; 김옥경
-Plasma source ion implantations for shallow junction조정희; HAN SEUNG HEE; LEE YEON HEE; 김옥경; 김곤호; 황현상; 김영우; LIM HYUN EUI; JUNG, HYE SUN; 백성권
-Plasma source ion implantations for shallow p+/n junction조정희; HAN SEUNG HEE; LEE YEON HEE; 김옥경; 김곤호; 김영우; LIM HYUN EUI; SUH MOO JIN
-The measurement of nitrogen ion species ratio in the inductively coupled plasma source ion implantation조정희; HAN SEUNG HEE; LEE YEON HEE; 김옥경; 김곤호; 김영우; LIM HYUN EUI; SUH MOO JIN
1999-07유도 결합형 플라즈마내의 이온 존재비율 측정에 관한 연구조정희; HAN SEUNG HEE; LEE YEON HEE; 김영우; LIM HYUN EUI; SUH MOO JIN; 김곤호; 김옥경
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