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Browsing byAuthorChoi, Younghwan

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2023-11DC 마그네트론 스퍼터링에서 입방정 질화붕소 박막의 증착 거동에 미치는 이온 플럭스 변화의 영향Choi, Younghwan; 허주열; Baik, Young Joon
2021-12Nucleation retardation of cubic boron nitride films caused by the addition of oxygen in argon-nitrogen sputtering gasChoi, Younghwan; Huh, J.-Y.; Baik, Young Joon
2023-03Radial microstructural nonuniformity of boron nitride films deposited on a wafer scale substrate by unbalanced magnetron sputteringChoi, Younghwan; J-Y. Huh; Baik, Young Joon
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