DSpace at KIST: Item 201004/109416

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DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Kim Tae Song	-
dc.date.accessioned	2024-01-13T17:30:56Z	-
dc.date.available	2024-01-13T17:30:56Z	-
dc.date.created	2021-09-29	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/109416	-
dc.subject	PZT	-
dc.subject	pyroelectric	-
dc.subject	sensor	-
dc.title.alternative	PZT 박막의 특성 및 MEMS 디바이스에의 응용 : 초전센서 어레이 형성을 위한 다이아프램 제조	-
dc.type	Conference	-
dc.description.journalClass	2	-
dc.identifier.bibliographicCitation	1999 제1회 대한전기학회 MEMS 심포지움논문집, v.1, no.1, pp.9 - 14	-
dc.citation.title	1999 제1회 대한전기학회 MEMS 심포지움논문집	-
dc.citation.volume	1	-
dc.citation.number	1	-
dc.citation.startPage	9	-
dc.citation.endPage	14	-
dc.citation.conferencePlace	KO	-

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