저농도 SF_6 기체혼합물로부터 SF6의 회수

Abstract

저농도의 SF_6를 포함하고 있는 기체 혼합물(10% SF_6/70% N_2/19% O_2/1% CF_4)로부터 SF_6를 분리 및 회수하기위한 PSF막과 PC막의 성능에 대하여 연구하였다. 회수된 기체 내의 SF_6의 농도와 회수율 그리고 혼합기체(N_2/SF_6, O_2/SF_6,CF__4/ SF6)의 선택도는 배출 유량과 온도의 함수로 측정하였다. PSF막과 PC막 모두 회수된 기체 내의 SF_6 농도는 배출 유량이 증가하면서 감소하였으며 온도가 증가함에 따라 증가하였다. 동일한 실험조건에서는 PSF막에서 회수된 기체 내의 SF_6의농도가 PC막에서보다 높게 나타났다. 최대회수율은 298.15 K과 배출유량 150cc/min에서 PSF막의 경우 95.9%이고 PC막의경우 67.8%를 나타냈다. CF_4/SF_6를 제외한 N_2/SF_6와 O_2/SF_6의 실제 선택도는 PSF막이 PC막보다 더 높게 나타났다.