Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | 변영태 | - |
dc.contributor.author | 김선호 | - |
dc.date.accessioned | 2024-01-21T02:06:00Z | - |
dc.date.available | 2024-01-21T02:06:00Z | - |
dc.date.created | 2021-09-06 | - |
dc.date.issued | 2006-10 | - |
dc.identifier.issn | 0374-4914 | - |
dc.identifier.uri | https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/135058 | - |
dc.description.abstract | 이온주입 기술을 이용하여 집적 3파장 레이저 다이오드 제작에 필요한 양자우물 혼합 공정이 2.0 MV tandem 이온 가속기와 RTA 장비를 이용하여 연구되었다. TRIM 시뮬레이터를 이용하여 주입된 인 이온의 분포와 결함 분포가 계산되었다. 반면에 1 MeV P 이온이 5 $\times$ 10$^{14}$ ions/cm$^2$로 InGaAsP-InGaAs 다중 양자우물 시료에 조사된 후 675 $^\circ$C의 Ar 분위기에서 열처리되었다. 이온 조사된 시료의 PL 스펙트럼은 열처리 시간의 함수로 상온에서 측정되었다. 그 결과 밴드갭 파장은 12분 열처리 후에 113 nm 만큼 많이 청색이동되었다. | - |
dc.publisher | 한국물리학회 | - |
dc.title | 인 이온주입에 의한 집적 3 파장 레이저 구조의 밴드갭 파장이동에 대한 실험적 고찰 | - |
dc.title.alternative | Experimental Study on Bandgap Wavelength Shift of Integrated Three-Wavelength Laser Structure by P Ion Implantation | - |
dc.type | Article | - |
dc.description.journalClass | 2 | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | 새물리, v.53, no.4, pp.331 - 336 | - |
dc.citation.title | 새물리 | - |
dc.citation.volume | 53 | - |
dc.citation.number | 4 | - |
dc.citation.startPage | 331 | - |
dc.citation.endPage | 336 | - |
dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
dc.identifier.kciid | ART001028621 | - |
dc.subject.keywordAuthor | QW intermixing | - |
dc.subject.keywordAuthor | Blue-shift | - |
dc.subject.keywordAuthor | Ion irradiation | - |
dc.subject.keywordAuthor | Integrated three-wavelength laser diode | - |
dc.subject.keywordAuthor | 양자우물 혼합 | - |
dc.subject.keywordAuthor | 청색이동 | - |
dc.subject.keywordAuthor | 이온조사 | - |
dc.subject.keywordAuthor | 집적 3파장 레이저 다이오드 | - |
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