DSpace at KIST: 반응성 r.f. 스퍼터링에 의한 마이크로 박막 전지용 산화바나듐 박막의 제작 및 전기화학적 특성 평가

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	전은정	-
dc.contributor.author	신영화	-
dc.contributor.author	남상철	-
dc.contributor.author	윤영수	-
dc.contributor.author	조원일	-
dc.date.accessioned	2024-01-21T14:31:23Z	-
dc.date.available	2024-01-21T14:31:23Z	-
dc.date.created	2022-01-10	-
dc.date.issued	2000-02	-
dc.identifier.issn	1225-8822	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/141593	-
dc.language	Korean	-
dc.publisher	한국진공학회	-
dc.title	반응성 r.f. 스퍼터링에 의한 마이크로 박막 전지용 산화바나듐 박막의 제작 및 전기화학적 특성 평가	-
dc.title.alternative	Fabrication and electrochemical characterization of amorphous vanadium oxide thin films for thin film micro-battery by reactive r.f. sputtering	-
dc.type	Article	-
dc.description.journalClass	2	-
dc.identifier.bibliographicCitation	한국진공학회지, v.9, no.1, pp.42 - 47	-
dc.citation.title	한국진공학회지	-
dc.citation.volume	9	-
dc.citation.number	1	-
dc.citation.startPage	42	-
dc.citation.endPage	47	-
dc.description.isOpenAccess	N	-
dc.description.journalRegisteredClass	other	-
dc.subject.keywordAuthor	amorphous vanadium oxide	-

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