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Browsing "KIST Patent" byAuthor박경현

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1997-04-22레이저　리소그라피　장비를　이용한　네가티브　마스크　제작방법박경현; 김선호; 최상삼; 김동환; 변영태
1994-05-26레이저　리소그라피　장치에서　간섭계를이용한　촛점찾는　방법박경현; 김동환; 변영태; 최상삼; 이규행; 김선호
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