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Issue Date | Title | Author(s) |
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2003-05-29 | 초저속 경사회전 노광을 이용한 3차원의 미소 구조 안테나의 제조방법 | 박종연; 문성욱; 한국과학기술연구원 |
2003-07-08 | 초 저속 경사 회전 평행 노광기의 제작 방법 | 박종연; 문성욱; 한국과학기술연구원 |
2003-10-01 | 미러 반사를 이용한 수평구조형 노광장치 | 박종연; 문성욱; 한국과학기술연구원 |