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Issue Date | Title | Author(s) |
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2000-08-08 | 이온빔을 이용한 산화물 기판표면의 전처리방법 및 이를 이용한 질화물 박막 형성 방법 | 고석근; 정형진; 변동진; 금동화; 최원국; 한국과학기술연구원 |
2001-01-26 | 이온빔을 이용한 산화물 기판표면의 전처리방법 및 이를 이용한 질화물 박막 형성 방법 | 고석근; 정형진; 변동진; 금동화; 최원국; 한국과학기술연구원 |
2001-07-27 | 이온빔을 이용한 산화물 기판표면의 전처리방법 및 이를 이용한 질화물 박막 형성 방법 | 고석근; 정형진; 변동진; 금동화; 최원국; 한국과학기술연구원 |