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Title
Author(s)
1997-03
전자선 리소그라피법에 의한 동일평면게이크 트랜지스터의 제작과 특성 연구 .
김은규
;
민석기
;
김광무
;
한철구
;
정석구
;
박종윤
;
박종호
1992-08
Laser beam process 에 의해 GaAs 에 형성된 결함상태 연구 .
김은규
;
조훈영
;
민석기
;
최원철
;
박종윤
;
김현수
1992-06
Excimer laser illumination 에 따른 실리콘반도체 특성변화 .
김은규
;
조훈영
;
민석기
;
최원철
;
박종윤
;
김현수
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-Author
3
김은규
3
민석기
2
김현수
2
조훈영
2
최원철
1
김광무
1
박종호
1
정석구
1
한철구
-Subject
1
defect formation
1
excimer laser
1
GaAs
1
laser beam process
1
laser illumination
1
Si
1
전자빔 리소그래피
-Date issued
1
1997
2
1992
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