DSpace at KIST: 초전형 적외선 센서 제작을 위한 PZT 박막형성 및 식각특성 평가

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DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Oh, Young Jei	-
dc.date.accessioned	2024-01-12T10:41:07Z	-
dc.date.available	2024-01-12T10:41:07Z	-
dc.date.created	2022-01-14	-
dc.date.issued	1999-07-19	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/84908	-
dc.publisher	대한전기학회	-
dc.title	초전형 적외선 센서 제작을 위한 PZT 박막형성 및 식각특성 평가	-
dc.type	Conference	-
dc.description.journalClass	2	-
dc.identifier.bibliographicCitation	1999년도 대한전기학회 하계학술대회, pp.0	-
dc.citation.title	1999년도 대한전기학회 하계학술대회	-
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dc.citation.conferencePlace	KO	-
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dc.citation.conferenceDate	1999-07-19	-
dc.relation.isPartOf	- - 직접입력	-

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