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Issue Date | Title | Author(s) |
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1997-08-08 | CBr4개스를 이용한 반도체 패턴 측면의 에피성장율 조절방법 | 민석기; 김성일; 김무성; 한국과학기술연구원 |
1997-08-26 | 화학증착장치용 히터 | 민석기; 김용; 김성일; 김무성; 한국과학기술연구원 |
1995-06-19 | 실리콘기판상에 성장된GaAs에피택셜층의 유기금속화학 증착법에 의한 델타-도핑형성 방법 | 민석기; 김무성; 김용; 한국과학기술연구원 |
1999-03-30 | 반도체 패턴 측면의 에피성장율 조절방법 | 민석기; 김용; 김무성; 한국과학기술연구원 |
1998-09-01 | 반도체 패턴 측면의 에피성장율 조절방법 | 민석기; 김용; 김무성; 한국과학기술연구원 |
1998-11-21 | CBr4개스를 이용한 반도체 패턴 측면의 에피성장율 조절방법 | 민석기; 김성일; 김무성; 한국과학기술연구원 |
1997-07-15 | 화학증착장치용 히터 | 민석기; 김용; 김성일; 김무성; 한국과학기술연구원 |
1998-03-13 | 반도체 패턴 측면의 에피성장율 조절방법 | 민석기; 김용; 김무성; 한국과학기술연구원 |
1997-11-20 | GaAs/AlGaAs기판을 이용한 양자세선 제작 방법 | 민석기; 이민석; 김용; 김무성; 한국과학기술연구원 |
1995-11-08 | 실리콘기판상에 성장된GaAs에피택셜층의 유기금속화학 증착법에 의한 델타-도핑형성 방법 | 민석기; 김무성; 김용; 한국과학기술연구원 |