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| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 1995-01-20 | 플라즈마 화학중착법에 의한 텅스텐 박막 증착방법 | 김용태; 민석기; 한국과학기술연구원 |
| 1993-10-06 | 텅스텐 박막제조용 플라즈마 화학증착온도 측정장치 | 김용태; 민석기; 한국과학기술연구원 |
| 1993-08-03 | 텅스텐 박막제조용 플라즈마 화학증착온도 측정장치 | 김용태; 민석기; 한국과학기술연구원 |
| 1996-01-30 | 실리콘 반도체소자의 금속배선 형성용텅스텐 질화 박막증착방법 | 민석기; 김용태; 한국과학기술연구원 |
| 1999-05-24 | 반도체 금속박막의 배선방법 | 민석기; 권철순; 김용태; 한국과학기술연구원 |
| 1996-04-25 | 실리콘 반도체소자의 금속배선 형성용텅스텐 질화 박막증착방법 | 민석기; 김용태; 한국과학기술연구원 |
| 1995-06-28 | 플라즈마 화학증착법을 이용한 갈륨비소 반도체소자의 쇼트키접합 및 금속배선용 텅스텐박막 형성방법 | 김용태; 민석기; 한국과학기술연구원 |
| 1994-03-23 | 실리콘 반도체소자의 금속배선 형성용텅스텐 질화 박막증착방법 | 민석기; 김용태; 한국과학기술연구원 |
| 1995-09-20 | 텡스텐 질화박막을 베리어 메탈로 이용한 실리콘 반도체 소자의 알루미늄금속배선 형성 방법 | 김용태; 민석기; 한국과학기술연구원 |
| 1995-09-20 | 실리콘 반도체소자의 텅스텐/텅스텐 질화박막 금속배선 형성방법 | 김용태; 민석기; 한국과학기술연구원 |
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