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Browsing byAuthor박성훈

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1991-05-21SiO발생속도　조절에　의한　탄화규소 피복흑연의　제조방법이준근; 박성훈; 최헌진; 김창삼
1991-04-11SiO발생속도　조절에　의한　탄화규소 피복흑연의　제조방법이준근; 박성훈; 최헌진; 김창삼
1997-06-16열충격내성이　개량된　반도체　웨이퍼처리용　탄화규소　피복　흑연치구　및　그의　제조방법김영욱; 김인섭; 박성훈; 이준근
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