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Issue DateTitleAuthor(s)
1993-01The study on thin film fabrication using UHV-LCVD system (I)최원국; 윤덕주; 공병인; 김창현; 황정남; 정광호
2004-08-10가스 클러스터 이온빔을 이용한 아이.티.오 박막 표면처리 시스템 및 그 방법최원국; 윤덕주; 송재훈; 오희범; 정형진
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