KIST Library Institutional Repository

가스 클러스터 이온빔을 이용한 아이.티.오 박막 표면처리 시스템 및 그 방법

Author

최원국; 윤덕주; 송재훈; 오희범; 정형진

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2004-08-10

Registration No.

0445105

Application Date

2001-10-25

Application No.

2001-0066053

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/81699

Appears in Collections:

KIST Patent > 2001

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