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Issue Date | Title | Author(s) |
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2002-11 | Optical MEMS-MEMS 기술의 액츄에이터 응용 (III) | 문성욱; 허재성 |
- | VOA fabrication with symmetric actuator | 김태엽; 허재성; Moon Sung Wook; Shin Hyun Joon; LEE SANG YOUL |
- | V₂O5/V/V₂O5 based uncooled infrared detector by MEMS technology | 한용희; 허재성; 최인훈; KIM GEUN TAE; Shin Hyun Joon; 치엔; Moon Sung Wook |
2004-04 | 평행 평판 정전형 구동기를 이용한 가변 광 감쇠기 | 김태엽; 허재성; 문성욱; 신현준; 이상렬 |