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The growth and characteristics of wet thermal oxidation film for SOI fabrication

Other Titles

SOI 제작을 위한 습식 열산산화막 성장 및 특성

Authors

김형권; Byun Young Tae; Kim Sun Ho; 한상국; 옥성해

Citation

한국광학회 제 14 회 정기총회 및 2003 년도 동계학술발표회, pp.172 - 173

Keywords

SOI; 열산화막 성장; 습식 열산화로; 식각 마스크; 포토리소그라피

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/106477

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