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적외선 감지 소자를 위한 산화 바나듐의 단층과 다층 박막의 특성 비교에 관한 연구

Authors

Park Chul Woo; Moon Sung Wook; 정홍배

Issue Date

2000-10

Citation

2000년도 가을 학술논문발표대회

Keywords

VOx; RF sputtering; TCR

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/108875

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KIST Conference Paper > Others

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