DSpace at KIST: 레이저 리소그라피 시스템을 이용한 새로운 negative 마스크 제작법 .

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	KPARK KYUNG HYUN	-
dc.contributor.author	Byun Young Tae	-
dc.contributor.author	Kim Sun Ho	-
dc.contributor.author	CHOI SANG SAM	-
dc.date.accessioned	2024-01-13T23:02:08Z	-
dc.date.available	2024-01-13T23:02:08Z	-
dc.date.created	2021-09-29	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/112423	-
dc.language	Korean	-
dc.subject	레이저 리소그라피 시스템	-
dc.subject	negative 마스크 제작법	-
dc.subject	negative PR	-
dc.subject	image revesal 기술	-
dc.subject	lift-off 방법	-
dc.title	레이저 리소그라피 시스템을 이용한 새로운 negative 마스크 제작법 .	-
dc.type	Conference	-
dc.description.journalClass	2	-
dc.identifier.bibliographicCitation	한국물리학회 논문초록집, v.10, no.2, pp.363	-
dc.citation.title	한국물리학회 논문초록집	-
dc.citation.volume	10	-
dc.citation.number	2	-
dc.citation.startPage	363	-
dc.citation.endPage	363	-
dc.citation.conferencePlace	KO	-

Show Simple Item Record

KIST Library Institutional Repository