TFT-LCD 제조 공장의 악취물질 배출 특성 조사 연구

Abstract

본 연구는 TFT-LCD 제조공장을 대상으로 LCD 제조 공정별 악취오염물질의 배출특성과 클린룸 내부의 악취오염물질 측정을 통해 적절한 악취방지대책과 악취오염 개선방안 마련을 위한 기초자료 제공을 목적으로 수행되었다. 유기 및 산성가스 배기덕트에서 공통적으로 검출된 악취물질은 아세톤, 아세트산, IPA, n-butylacetate, PGMEA, cyclohexane 등이고, 주로 각 장비별로 원료로 사용되는 약품인 것으로 나타났다. 지정악취물질 중에는 아세트알데하이드를 제외하고 대부분 미량 또는 검출한계 이하였다. 산성가스 배기덕트에서는 매우 저농도에서도 냄새를 유발하는 아세트산이 고농도로 검출되어 주요 악취원인 물질로 평가되었다. 클린룸의 실내 악취오염의 원인은 LCD 제조 공정에 사용되는 약품의 부적절한 취급에 의한 것으로 조사되었다. 따라서 작업환경 개선을 위해 장비로부터의 가스누출을 최소화하고, 약품 용기의 적절한 관리가 이루어져야 한다.