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dc.contributor.author조재원-
dc.contributor.author이희택-
dc.contributor.author최원준-
dc.contributor.author우덕하-
dc.contributor.author김선호-
dc.contributor.author강광남-
dc.date.accessioned2024-01-21T09:39:43Z-
dc.date.available2024-01-21T09:39:43Z-
dc.date.created2021-09-06-
dc.date.issued2002-12-
dc.identifier.urihttps://pubs.kist.re.kr/handle/201004/139015-
dc.description.abstract반도체-유전체 덮개층의 다양한 조합이 In0.53Ga0.47As/InGaAsP(Q1.25) 양자우물 무질서화에 미치는 영향을 PL (Photoluminescence)을 이용하여 조사하였다. 청색 편이에 대한 문턱 온도는 약 750℃ 였으며 전반적으로 온도가 올라감에 따라 청색 편이도 점차 증가하였으나 SiO2의 경우에는 온도가 올라감에 따라 포화되는 경향을 보였다. SiNx가 SiO2보다 더 큰 청색 편이를 야기하였는데 이것은 SiNx의 낮은 성장 온도와 관계가 있는 것으로 생각된다. SiNx의 경우 P의 확산이, 그리고 SiO2의 경우 Ga의 확산이 청색 편이에 중요한 역할을 하는 것으로 여겨진다.-
dc.publisher한국진공학회-
dc.title다양한 반도체-유전체 덮개층 조합을 이용한 InGaAs/InGaAsP 양자우물의 무질서화-
dc.title.alternativeDielectric cap quantum well disordering for band gap tuning of InGaAs/InGaAsP quantum well structure using various combinations of semiconductor-dielectric capping layers-
dc.typeArticle-
dc.description.journalClass3-
dc.identifier.bibliographicCitationApplied Science and Convergence Technology, v.11, no.4, pp.207 - 211-
dc.citation.titleApplied Science and Convergence Technology-
dc.citation.volume11-
dc.citation.number4-
dc.citation.startPage207-
dc.citation.endPage211-
dc.identifier.kciidART000896209-
dc.subject.keywordAuthor양자우물 무질서화-
dc.subject.keywordAuthorInGaAs/InGaAsP 양자우물-
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KIST Article > 2002
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