DSpace at KIST: 반도체 차세대 미세가공기술과 포토레지스트 감광재료의 발전

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DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	안광덕	-
dc.date.accessioned	2024-01-21T14:34:22Z	-
dc.date.available	2024-01-21T14:34:22Z	-
dc.date.created	2022-01-10	-
dc.date.issued	2000-01	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/141646	-
dc.title	반도체 차세대 미세가공기술과 포토레지스트 감광재료의 발전	-
dc.type	Article	-
dc.description.journalClass	3	-
dc.identifier.bibliographicCitation	화학세계, v.40, no.9, pp.52 - 59	-
dc.citation.title	화학세계	-
dc.citation.volume	40	-
dc.citation.number	9	-
dc.citation.startPage	52	-
dc.citation.endPage	59	-
dc.subject.keywordAuthor	미세가공기술	-
dc.subject.keywordAuthor	광미세가공기술	-
dc.subject.keywordAuthor	G-선	-
dc.subject.keywordAuthor	I-선	-

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