DSpace at KIST: 질소 이온주입법에 의한 BN 박막의 계면구조 개선 및 밀착력 향상

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	변응선	-
dc.contributor.author	이성훈	-
dc.contributor.author	이상로	-
dc.contributor.author	이구현	-
dc.contributor.author	한승희	-
dc.contributor.author	이응직	-
dc.contributor.author	윤재홍	-
dc.date.accessioned	2024-01-21T15:34:31Z	-
dc.date.available	2024-01-21T15:34:31Z	-
dc.date.created	2022-01-10	-
dc.date.issued	1999-05	-
dc.identifier.issn	1225-8822	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/142204	-
dc.language	Korean	-
dc.publisher	한국진공학회	-
dc.title	질소 이온주입법에 의한 BN 박막의 계면구조 개선 및 밀착력 향상	-
dc.title.alternative	Modification and adhesion improvement of BN interfacial layers by post-N**+ implantation	-
dc.type	Article	-
dc.description.journalClass	2	-
dc.identifier.bibliographicCitation	한국진공학회지, v.8, no.2, pp.158 - 164	-
dc.citation.title	한국진공학회지	-
dc.citation.volume	8	-
dc.citation.number	2	-
dc.citation.startPage	158	-
dc.citation.endPage	164	-
dc.description.isOpenAccess	N	-
dc.description.journalRegisteredClass	other	-
dc.subject.keywordAuthor	c-BN	-

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