DSpace at KIST: 유기금속 화학증착법을 이용한 패터닝된 TiN/BPSG 기판에서의 선택적 구리 증착

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	김근국	-
dc.contributor.author	김영석	-
dc.contributor.author	곽성관	-
dc.contributor.author	김은규	-
dc.contributor.author	민석기	-
dc.contributor.author	박만장	-
dc.date.accessioned	2024-01-21T17:07:11Z	-
dc.date.available	2024-01-21T17:07:11Z	-
dc.date.created	2022-01-10	-
dc.date.issued	1998-05	-
dc.identifier.issn	1013-7009	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/143083	-
dc.title	유기금속 화학증착법을 이용한 패터닝된 TiN/BPSG 기판에서의 선택적 구리 증착	-
dc.type	Article	-
dc.description.journalClass	2	-
dc.identifier.bibliographicCitation	응용물리, v.11, no.3, pp.365 - 369	-
dc.citation.title	응용물리	-
dc.citation.volume	11	-
dc.citation.number	3	-
dc.citation.startPage	365	-
dc.citation.endPage	369	-
dc.subject.keywordAuthor	유기금속 화학증착법	-
dc.subject.keywordAuthor	패터닝	-
dc.subject.keywordAuthor	TiN/BPSG	-
dc.subject.keywordAuthor	선택적 구리 증착	-

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