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대향타겟트 스파터기에서 반응성 플라즈마의 스펙트로스코프 검진 .

Authors

나종갑; 이택동; 박순자

Issue Date

1992-01

Citation

한국자기학회지, v.v. 2, no.no. 5, pp.337 - 342

Keywords

대향타겟 스파터링기; BaO 복합 타겟; 수직고밀도 자기기록매체; 반응성 스파터링; 스펙트로 스코프 검진

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146665

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