DSpace at KIST: Sputter 조건과 열처리온도가 ITO 박막의 전기적 및 광학적 특성에 미치는 영향 .

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	나종갑	-
dc.contributor.author	조영래	-
dc.contributor.author	장평우	-
dc.contributor.author	이택동	-
dc.date.accessioned	2024-01-22T01:36:43Z	-
dc.date.available	2024-01-22T01:36:43Z	-
dc.date.created	2022-01-10	-
dc.date.issued	1987-01	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/147773	-
dc.title	Sputter 조건과 열처리온도가 ITO 박막의 전기적 및 광학적 특성에 미치는 영향 .	-
dc.type	Article	-
dc.description.journalClass	3	-
dc.identifier.bibliographicCitation	새물리, v.v. 27, no.no. 6, pp.632 - 637	-
dc.citation.title	새물리	-
dc.citation.volume	v. 27	-
dc.citation.number	no. 6	-
dc.citation.startPage	632	-
dc.citation.endPage	637	-
dc.subject.keywordAuthor	투명전도성	-
dc.subject.keywordAuthor	ITO 박막	-
dc.subject.keywordAuthor	스파터링	-
dc.subject.keywordAuthor	홀효과	-
dc.subject.keywordAuthor	후 열처리	-

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