DSpace at KIST: Search

Results 1-10 of 198 (Search time: 0.006 seconds).

Issue Date	Title	Author(s)
199201	Microscopy study for the batch fabrication of silicon diaphragm	하병주; 주병권; 차균현; 오명환; 김철주
200004	Vacuum packaging and operating properties of micro-tunneling sensors	주병권; 박흥우; 이덕중; 손용배; 박정호; 오명환
200209	Hybrid microassembly system for three-dimensional MEMS components	김경환; 김덕호; 이석주; 이재훈
199911	Fabrication of microbolometer using MEMS technology	강호관; 김민철; 하원호; 문성욱; 오명환; 김도훈
199410	Formation of silicon diaphragm using silicon-wafer direct bonding / electrochemical etch-stopping and its application to silicon pressure sensor fabrication	주병권; 하병주; 김근섭; 송만호; 김성환; 김철주; 차균현; 오명환
200203	Principal and applications of nanoindentation test	한준희; 이광렬; 김광석; 이상율
200004	Design and fabrication of a micro switch for logic devices	채경수; 한승오; 하종민; 박정호; 문성욱
200203	Implementation of a self-sensing MEMS cantilever for nanomanipulation	김덕호; 김경환; 홍재완
199608	FED 기술 강좌 : Amorphic diamond FEA 및 진공 실장 기술	주병권; 오명환
199901	압전성 PZT 박막과 표면 마이크로머쉬닝 공정을 이용한 마이크로 칸틸레버 빔의 제작 및 그 문제점	윤영수

KIST Library Institutional Repository