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반도체 미세회로 형성을 위한 반사 방지막용 열가교결합성 유기 고분자, 이를 이용한 반사 방지막 조성물 및 그 제조방법

Author

안광덕; 강종희; 한동근

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2005-11-07

Registration No.

0528454

Application Date

2003-09-22

Application No.

2003-0065675

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/78219

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KIST Patent > Others

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