Full metadata record
DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 강구민 | - |
dc.contributor.author | 한일기 | - |
dc.contributor.author | 김춘근 | - |
dc.contributor.author | 김영환 | - |
dc.contributor.author | 고형덕 | - |
dc.contributor.author | 권석준 | - |
dc.date.accessioned | 2024-01-12T11:35:24Z | - |
dc.date.available | 2024-01-12T11:35:24Z | - |
dc.date.issued | 2021-03-30 | - |
dc.identifier.uri | https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/85797 | - |
dc.title | 특정 파장의 광원 및 반응성 가스를 이용하여 대상물의 표면을 평탄화하는 방법 및 장치 | - |
dc.type | Patent | - |
dc.date.registration | 2021-03-30 | - |
dc.date.application | 2019-02-08 | - |
dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10964550 | - |
dc.identifier.patentApplicationNumber | 16/270594 | - |
dc.publisher.country | US | - |
dc.type.iprs | 특허 | - |
dc.contributor.assignee | 한국과학기술연구원 | - |
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