Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | 김진상 | - |
dc.contributor.author | 윤석진 | - |
dc.contributor.author | 권성도 | - |
dc.contributor.author | 김현재 | - |
dc.contributor.author | 김정훈 | - |
dc.contributor.author | 정대용 | - |
dc.date.accessioned | 2024-01-12T13:01:06Z | - |
dc.date.available | 2024-01-12T13:01:06Z | - |
dc.date.issued | 2009-02-05 | - |
dc.identifier.uri | https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/87314 | - |
dc.title | 고품질 박막 증착을 위한 화학적 기판처리 방법 및 이를 이용한 박막형 열전소재의 제조방법 | - |
dc.type | Patent | - |
dc.date.registration | 2009-02-05 | - |
dc.date.application | 2007-05-23 | - |
dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0883332 | - |
dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2007-0050002 | - |
dc.publisher.country | KO | - |
dc.type.iprs | 특허 | - |
dc.contributor.assignee | 한국과학기술연구원 | - |
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