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3차원 적층 구조의 상부층으로의 스레딩 변전위의 전파가 억제되는 트렌치 구조를 갖는 반도체 소자

Author

김승환; 김형준

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2023-05-10

Registration No.

10-2532540-0000

Application Date

2021-01-28

Application No.

10-2021-0012069

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/91409

Appears in Collections:

KIST Patent > 2021

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