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진공증착에 의한 박막 형성 및 이어지는 고체 비젖음 공정에 의한 유전체로 된 곡면의 기재 상에 조절된 크기의 금속 나노입자를 형성하는 방법

Author

여선주; 강진구; 강준현; 강구민; 한일기; 고형덕; 권석준; 장호성; 고두현; 안인환; 박재관

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2020-12-14

Registration No.

10-2193206

Application Date

2019-02-01

Application No.

10-2019-0013996

Country

KO

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/91535

Appears in Collections:

KIST Patent > 2019

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