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1995-11-08디렉트　모니터링　전기로를　이용한　수평대역　용융　단결정　성장장치민석기; 한철원; 박승철; 박용주; 한국과학기술연구원
1995-01-20플라즈마　화학중착법에　의한　텅스텐　박막　증착방법김용태; 민석기; 한국과학기술연구원
1995-06-19실리콘기판상에　성장된GaAs에피택셜층의　유기금속화학　증착법에　의한　델타－도핑형성　방법민석기; 김무성; 김용; 한국과학기술연구원
1995-03-23디렉트　모니터링　전기로를　이용한　수평브리지만　단결정　성장장치민석기; 한철원; 박승철; 한국과학기술연구원
1995-06-28플라즈마　화학증착법을　이용한　갈륨비소　반도체소자의　쇼트키접합　및　금속배선용　텅스텐박막　형성방법김용태; 민석기; 한국과학기술연구원
1995-11-08실리콘기판상에　성장된GaAs에피택셜층의　유기금속화학　증착법에　의한　델타－도핑형성　방법민석기; 김무성; 김용; 한국과학기술연구원
1995-09-20텡스텐　질화박막을　베리어　메탈로　이용한　실리콘　반도체　소자의　알루미늄금속배선　형성　방법김용태; 민석기; 한국과학기술연구원
1995-09-20실리콘　반도체소자의　텅스텐/텅스텐 질화박막　금속배선　형성방법김용태; 민석기; 한국과학기술연구원
1995-11-08디렉트　모니터링　전기로를　이용한　수직온도　구배　냉각　화합물　반도체 단결정　성장장치민석기; 박승철; 심광보; 박용주; 한철원; 한국과학기술연구원
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