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Issue Date | Title | Author(s) |
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2001-01-20 | 가스 클러스터 이온 가속기를 이용한 나노 구조물 형성 방법 | 권순남; 송재훈; 송종한; 정형진; 최원국; 황정남 |
2001-10-25 | 가스 클러스터 이온빔을 이용한 아이.티.오 박막 표면처리시스템 및 그 방법 | 송재훈; 오희범; 윤덕주; 정형진; 최원국 |
2000-01-27 | 저온 측온 저항계용 박막 및 그의 제조방법 | 송재훈; 오영제; 윤영수; 정형진; 최원국 |