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Issue Date | Title | Author(s) |
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2004-08-10 | 가스 클러스터 이온빔을 이용한 아이.티.오 박막 표면처리 시스템 및 그 방법 | 최원국; 윤덕주; 송재훈; 오희범; 정형진 |
2003-10-06 | 가스 클러스트 이온 가속기를 이용한나노 구조물 형성 방법 | 최원국; 송재훈; 송종한; 황정남; 정형진; 권순남 |
1999-05 | 동심원형 대칭 전기장 집속 방식을 응용한 자가 이온 보조 소스 제작 및 Cu 박막 증착 | 송재훈; 김기환; 이충만; 최성창; 송종한; 정형진; 최원국 |
- | (Undefined) | 송재훈; SONG JONG HAN; CHOI DUCK KYUN; Oh Young-Jei; CHOI WON-KOOK |