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Issue Date | Title | Author(s) |
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1992-01 | PECVD 방법에 의해 제작된 SiNx/InP MIS 구조의 bias stress 에 의한 C-V 및 G-V 곡선의 변화 . | 강광남; 이정일; 이명복; 한일기; 이유종 |
1997-08-28 | 다층 마스크패턴의 결함 수정방법 | 김회종; 강광남; 이정일; 우덕하; 이석; 이유종; 이명복; 우덕하 |
1997-12-11 | 전자빔 리소그래피 장치 및 이를 이용한 다층 정렬 방법 | 김회종; 강광남; 이정일; 이명복; 최원준; 이유종; 한일기 |