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Browsing byAuthor김성광

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2018-06-26III-V족 화합물의 면방향 의존성을 이용한 에피택셜 리프트오프에 의한 반도체 소자의 제조 방법김상현; 김성광; 심재필; 김형준
2018-04-10III-V족 화합물의 면방향 의존성을 이용한 에피택셜 리프트오프에 의한 반도체 소자의 제조 방법김상현; 김성광; 심재필; 김형준
2017-06The third dimension: The logical step for III-Vs김상현; 김성광; 김형준
2021-01-05상호 확산을 사용한 반도체 소자 및 이를 제조하는 방법김형준; 김상현; 임형락; 김성광; 김한성
2019-11-12상호 확산을 사용한 반도체 소자 및 이를 제조하는 방법김형준; 김상현; 임형락; 김성광; 김한성
2019-01-08전압을 인가하여 에피택셜 리프트오프 공정을 고속화하기 위한 반도체 소자의 제조 방법 및 식각 장비김상현; 김형준; 최원준; 심재필; 김성광
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