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Browsing byAuthor장삼석

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2009-05ALD법으로 성장시킨 ZnO 박막의 RTA 처리에 따른 전기적 특성변화장삼석; 김범준; Ji Hun Park; 김영석; 변동진
-Deposition of ZnO Thin Film coating SnOx buffer layer on glass substrate prepared by Atomic Layer Deposition장삼석; Ji Hun Park; Lee, Joong Kee; 변동진
2009-05금속 Zn 타겟을 사용한 RF 마그네트론 리엑티브 스퍼터링 ZnO의 온도 및 산소분압에 따른 전기적 특성의 변화김영석; 장삼석; 이승무; Ji Hun Park; 변동진
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