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Issue DateTitleAuthor(s)
1998-07A study on the chemical vapor deposition of Si on Mo substrate윤진국; 정병성; 고흥석; 김재수; 최종술
1998-10Kinetics of chemical vapor deposition of silicon on Ni substrate from a gas mixture of SiCl4 and H2윤진국; 유재은; 맹선재; 정병성; 김재수; 최종술
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