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Issue Date | Title | Author(s) |
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2006-08-09 | 전기장 결합형 플라즈마 화학증착법에 의한 투명한 도전성 금속 복합박막의 제조방법 | 이중기; 조 병 원; 우 주 만; 전 법 주; 김형석; 임 태 훈; 이 준 상; 최용락; 오인환 |
2005-03-29 | 전자 싸이클로트론 공명 플라즈마와 펄스형 직류 바이어스결합형 상온 화학 증착 시스템 및 이를 이용한 금속복합막 제조방법 | 이중기; 조병원; 박달근; 최용락; 우주만 |