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Blistering study on hydrogen ion implanted Si surface

Other Titles

양성자 이온 주입에 의한 Si 표면의 blistering 연구

Authors

김형권; 옥성해; KIM JAE HUN; Kim Sun Ho; Byun Young Tae; 한상국; 우형주

Citation

제 10 회 광전자 및 광통신 학술회의 (COOC 2003), pp.469 - 470

Keywords

양성자 이온 주입; SOI; Blister 형성; 열처리

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/106353

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