DSpace at KIST: 미국 서부의 마이크로 / 나노 기술 동향

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DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	문성욱	-
dc.date.accessioned	2024-01-21T09:07:18Z	-
dc.date.available	2024-01-21T09:07:18Z	-
dc.date.created	2022-01-10	-
dc.date.issued	2003-04	-
dc.identifier.issn	1227-741X	-
dc.identifier.uri	https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/138695	-
dc.title	미국 서부의 마이크로 / 나노 기술 동향	-
dc.type	Article	-
dc.description.journalClass	3	-
dc.identifier.bibliographicCitation	월간 반도체, v.v. 4, pp.31 - 42	-
dc.citation.title	월간 반도체	-
dc.citation.volume	v. 4	-
dc.citation.startPage	31	-
dc.citation.endPage	42	-
dc.subject.keywordAuthor	마이크로	-
dc.subject.keywordAuthor	나노 기술	-

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