CoFe/Cu/NiFe Pseudo 스핀밸브의 자기저항 특성

Abstract

비자성층을 사이에 둔 두 강자성층의 보자력 차이를 이용하여 거대자기저항특성을 나타내는 Ta/CoFe/Cu/NiFe/Ta 구조의 pseudo 스핀밸브를 DC 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제조하였다. Ta/CoFe/Cu/NiFe/Ta 구조에서 CoFe층의 두께 변화에 따른 자화 특성 및 자기저항 특성을 조사하였으며, 이 구조에서 CoFe층의 두께가 60 Å일 때 자기저항비는 3.82 %이고 CoFe층과 NiFe층 사이의 보자력 차이는 27.4 Oe이다. Ta/CoFe/Cu/NiFe/Ta 구조를 갖는 pseudo 스핀밸브에서 CoFe층과 NiFe층의 보자력 차이는 CoFe층의 두께가 20 Å에서 40 Å까지 증가함에 따라 증가하였으며 40 Å 이상에서는 감소하였다. 이와 같은 결과는 박막의 결정성 및 포화 자기변형(ls)의 변화에 의한 것으로 판단된다. Cu층과 NiFe층 사이에 CoFe층을 삽입한 Ta/CoFe/Cu/CoFe/NiFe/Ta 구조에서 삽입층인 CoFe층의 두께 변화에 따른 자화특성 및 자기저항 특성을 조사한 결과 CoFe 두께가 10 Å시 자기저항비가 6.7 %이며, 삼층막 구조 보다 자기저항비가 약 1.5배 이상 증가함을 알 수 있었다.